Submitted by admin on 三, 06/13/2018 - 18:22

直立式鍍膜系統

直立式鍍膜系統

直立式鍍膜系統


越野股份有限公司約二十多年Sputtering設備之經驗,為配合客戶提高品質、降低生本之需求,本公司研發此體積小、高產能、高信賴度、維修極少、保養容易之新一代真空鍍膜設備。
其特點為︰高自動化、抽氣速率快,新穎的專利轉盤設計高容量、單腔体運作減少及降低維修時間及成本,三濺射靶同時鍍膜、縮短至製作時間。
 

    • 三靶〈立式〉同時濺射,鍍膜效率高。
    • 專利料盤設計,高產量。
    • 附出、入料臺車,操作簡便。
    • 單腔式,內部機構設計精簡,設備信賴度高。
    • 人機操作界面,操作及設定參數容易,可記錄生產參數。